[发明专利]一种激光能量检测装置及其检测方法有效
申请号: | 201910671104.8 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN110487396B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 魏磊;李宝;陈国;苑利钢;韩隆 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光能量检测装置及其检测方法,激光能量检测装置,包括:发射单元,用于输出固定能量的激光;衰减单元,用于对所述发射单元输出的激光进行衰减并输出衰减后的激光,所述衰减单元相对于所述发射单元可动以调节所述衰减后的激光的能量;监测单元,用于对衰减后的激光进行能量监测。采用本发明,通过设置衰减单元,衰减单元可以对发射单元输出的原始激光可控制的进行衰减,从而可以模拟出具有不同能量密度的激光,达到能量密度可连续调节的目的,由此,可以避免由于改变发射单元输出的激光影响激光的质量、保证检测效果的精确性与可靠性,且整个装置的部件简便、容易实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 能量 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光能量检测装置,其特征在于,包括:/n发射单元,用于输出固定能量的激光;/n衰减单元,用于对所述发射单元输出的激光进行衰减并输出衰减后的激光,所述衰减单元相对于所述发射单元可动以调节所述衰减后的激光的能量;/n监测单元,用于对衰减后的激光进行能量监测。/n
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