[发明专利]金刚石多线切割装置和切割方法在审
| 申请号： | 201910671681.7 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110370477A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 郑加镇;卢健平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了金刚石多线切割装置和切割方法，其中切割装置包括：固定板、升降机构、摇摆机构、压力侦测机构，其中，升降机构包括升降气缸和升降平台，升降气缸设置在升降平台上并与固定板的底壁相连；摇摆机构包括固定部、轴销和旋转部，固定部与旋转部通过轴销相对可旋转地连接，固定部与升降平台的底壁相连，旋转部的底端适于安装待切割晶棒；压力侦测机构包括压力传感装置，所述压力传感装置设置在所述摇摆机构和所述升降机构之间，所述摇摆机构在运行过程中会感知线弓的压力，所述压力传感装置会得到所述线弓压力值。该装置通过增设摇摆机构和压力自动补偿而获得稳定的线弓值，进而提高良率、改善翘曲、TTV和纳米形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 摇摆机构 压力传感装置 升降机构 升降平台 固定部 旋转部 线弓 多线切割装置 金刚石 升降气缸 侦测机构 固定板 底壁 轴销 切割 压力自动补偿 纳米形貌 切割晶棒 切割装置 运行过程 地连接 可旋转 底端 良率 翘曲 感知 增设 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石多线切割装置，其特征在于，包括：固定板，升降机构，所述升降机构包括升降气缸和升降平台，所述升降气缸设置在所述升降平台上并与所述固定板的底壁相连；摇摆机构，所述摇摆机构包括固定部、轴销和旋转部，所述固定部与所述旋转部通过轴销相对可旋转地连接，所述固定部与所述升降平台的底壁相连，所述旋转部的底端适于安装待切割晶棒；压力侦测机构，包括压力传感装置，所述压力传感装置设置在所述摇摆机构和所述升降机构之间，所述压力传感装置会收集所述金刚石多线切割装置在运行过程中感知的线弓的压力值。
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