[发明专利]一种同心度检测工具和方法在审
申请号: | 201910672271.4 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN110274555A | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 汪沛渊;张涛;白枭龙;杨俊;何丽珠;邓清香;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘新雷 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种同心度检测工具,用以检测单晶炉内热场装置的同心度,包括用以设于坩埚轴顶端并沿垂向延伸的支撑轴;设于所述支撑轴的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆;其中,所述支撑轴与所述检测杆的第一端固定连接;所述支撑轴的延伸方向与所述检测杆的延伸方向垂直。上述同心度检测工具使用方便,能够准确地判断热场装置的同心度,解决了热场装置安装效率低的问题。此外,本发明还公开了一种同心度检测方法。 | ||
搜索关键词: | 支撑轴 同心度检测工具 热场装置 检测杆 同心度 延伸 同心度检测 安装效率 方向垂直 单晶炉 第一端 坩埚轴 垂向 内壁 内热 指向 检测 | ||
【主权项】:
1.一种同心度检测工具(1),用以检测单晶炉内热场装置的同心度,其特征在于,包括:用以设于坩埚轴(02)顶端并沿垂向延伸的支撑轴(2);设于所述支撑轴(2)的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆(3);其中,所述支撑轴(2)与所述检测杆(3)的第一端固定连接;所述支撑轴(2)的延伸方向与所述检测杆(3)的延伸方向垂直。
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