[发明专利]用于光刻的涂料组合物在审
| 申请号： | 201910672506.X | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110488571A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | M·K·噶拉格尔;A·赞皮尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 樊云飞<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在第一方面中，所提供的方法包括：(a)将可固化组合物涂布到基底上；(b)将硬掩模组合物涂布在该可固化组合物之上；(c)将光致抗蚀剂组合物层涂布在该硬掩模组合物之上，其中所述组合物的一种或多种可用无灰化方法除去。在第二方面中，所提供的方法包括：(a)将有机组合物涂布到基底上；(b)将光致抗蚀剂组合物层涂布在该有机组合物之上；其中该有机组合物包含一种当热处理和/或辐射处理时能产生碱溶基团的材料。本发明也提供了一种相关组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 有机组合物 光致抗蚀剂组合物层 可固化组合物 硬掩模组合物 基底 热处理 辐射处理 灰化 碱溶 可用 | ||
【主权项】：
1.一种制备电子器件的方法，包括：/n将可固化组合物涂布到基底上；/n将硬掩模组合物涂布在所述可固化组合物之上；/n将光致抗蚀剂组合物层涂布在所述硬掩模组合物之上，/n其特征在于，所述组合物的一种或多种用无灰化方法除去。/n
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