[发明专利]一种晶圆卡盘清理装置在审
| 申请号： | 201910672534.1 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112276784A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 纠松涛;罗曙霖;向森;王松;高涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/06 |
| 代理公司： | 北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙) 11597 | 代理人： | 刘锋;方岩 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种晶圆卡盘清理装置。在本发明实施例中，提供了一种包括摩擦旋转机构、机械臂、排风管路和控制部件的晶圆卡盘清理装置。通过控制部件使摩擦旋转机构上的研磨盘摩擦晶圆卡盘，再利用排风管路吸除颗粒。采用本发明实施例的晶圆卡盘清理装置去除晶圆卡盘上的颗粒，能够缩短清理时间，从而能够提高设备的WPH。同时，还能够避免外部的颗粒进入设备中而形成的污染，降低人为清理产生的误差而导致设备故障的风险。能够确保晶圆卡盘的清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卡盘 清理 装置 | ||
【主权项】：
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