[发明专利]一种蒸发源挡板在审
| 申请号： | 201910673869.5 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110453179A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;孙玉俊 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 魏小霞;徐剑兵<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 351100福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板没有发生形变时，金属片不会触碰到旁边的压力传感器，故而压力传感器不会感应到压力，而当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 载台 磁感应开关 金属片 挡板 相向设置 蒸发源挡板 第一挡板 挡板部 形变 下端 高真空设备 侦测 警报 摆放 告知 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；/n所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；/n所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；/n所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；/n所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；/n所述磁感应开关设置于所述载台上；/n所述金属片与所述磁感应开关相向设置；/n所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。/n
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