[发明专利]一种铜或铜合金微蚀剂、制备方法及微蚀刻方法有效

专利信息
申请号: 201910676657.2 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN112301347B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 韦家亮 申请(专利权)人: 比亚迪股份有限公司
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 董琳
地址: 518118 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种铜或铜合金微蚀剂,包括硫酸、双氧水、柠檬酸和/或柠檬酸盐、乙酸和/或乙酸盐、氨基磺酸和/或氨基磺酸盐、丙三醇和/或丁醇、三羟丙基羟乙基乙二胺、N‑甲基吗啉和2‑乙基己基硫酸酯钠盐以及水。本发明通过上述各组分相互配合,能够得到稳定性好、寿命长、微蚀效果好的铜或铜合金微蚀剂,而且本发明所述微蚀剂处理过铜或铜合金的表面光亮性好、抗氧化性能好。
搜索关键词: 一种 铜合金 微蚀剂 制备 方法 蚀刻
【主权项】:
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