[发明专利]用于形成热稳定有机硅聚合物膜的方法有效
| 申请号： | 201910678900.4 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110776639B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | T·J·V·布兰夸特 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | C08G77/04 | 分类号： | C08G77/04;C08G77/38;C08G77/60;C08G77/62;C08J3/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 乐洪咏;朱黎明 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于形成热稳定有机硅聚合物膜的方法，包括：(i)在反应空间中使用含硅前体在衬底上沉积有机硅聚合物，其主链由硅原子构成；以及(ii)以增加Si‑H键的方式在反应空间中不存在前体的情况下将在步骤(i)中沉积的所述有机硅聚合物暴露于氢等离子体，并且减小所述有机硅聚合物中的C‑H键而不沉积有机硅聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 稳定 有机硅 聚合物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成热稳定有机硅聚合物的方法，包括：/n(i)在反应空间中使用含硅前体在衬底上沉积有机硅聚合物，所述有机硅聚合物的主链主要或部分地由硅原子构成；以及/n(ii)以增加Si-H键的方式在所述反应空间中不存在所述前体的情况下将在步骤(i)中沉积的所述有机硅聚合物暴露于氢等离子体，并且减小所述有机硅聚合物中的C-H键而不沉积有机硅聚合物。/n
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