[发明专利]照明系统、光瞳椭圆度补偿方法及光刻机有效
| 申请号： | 201910679758.5 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112305863B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 田毅强;徐建旭;兰艳平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种照明系统、光瞳椭圆度补偿方法及光刻机，包括用于出射照明光束的光源模块，用于接收并汇聚照明光束的汇聚模块及位于光源模块和汇聚模块之间光瞳调节模块，控制模块可以通过控制所述光瞳调节模块在垂直于光轴的平面上转动以改变所述照明光束的入射角，由于所述光瞳调节模块的透过率随光束入射角的变化而变化，即可以改变光瞳面上不同位置的相对照度，从而补偿所述照明系统的光瞳椭圆度，提升CDU性能，并且，本发明可以根据所述照明系统当前的光瞳椭圆度执行补偿，以使照明系统在其生命周期内的光瞳椭圆度满足控制要求，提高了设备的可靠性，由于光瞳调节模块仅是在垂直于光轴的平面上转动，控制方便、结构简单且成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 椭圆 补偿 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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