[发明专利]X射线透射检查装置和X射线透射检查方法

摘要

本发明提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法，能够迅速地获取试样的各高度的截面像。该X射线透射检查装置具有：X射线源(2)；二维传感器(3)，其检测透射过试样(S)的X射线；试样移动机构，其能够使试样移动；运算部，其处理由二维传感器检测出的X射线的图像；以及显示部，其能够显示截面像，二维传感器能够一次读出通过所有的像素检测到的图像，在将移动速度设为V1、将二维传感器的帧速率设为F、将二维传感器的像素间距设为A、将从X射线源到二维传感器的距离设为LS时，运算部进行沿着移动方向对每隔(LS×V1)/(L×F×A)的像素的图像进行持续相加的加法处理，从而生成与X射线源相距L的位置处的试样的截面像。

主权项

1.一种X射线透射检查装置，其特征在于，/n该X射线透射检查装置具有：/nX射线源，其对试样照射X射线；/n二维传感器，其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，检测透射了所述试样的所述X射线；/n试样移动机构，其能够使所述试样在与所述二维传感器的检测面平行的固定的移动方向上以恒定的移动速度进行移动；/n运算部，其对由所述二维传感器检测出的所述X射线的图像进行处理；以及/n显示部，其能够显示基于由所述运算部处理后的所述图像的截面像，/n所述二维传感器具有呈格子状排列的作为摄像元件的多个像素，能够以恒定的帧速率一次读出通过所有的所述像素检测到的所述图像，/n在将所述移动速度设为V1、将所述帧速率设为F、将所述二维传感器的像素间距设为A、将从所述X射线源到所述二维传感器的距离设为LS时，所述运算部进行沿着所述移动方向对每隔(LS×V1)/(L×F×A)的所述像素的所述图像进行持续相加的加法处理，从而生成与所述X射线源相距L的位置处的所述试样的截面像。/n