[发明专利]基于光波导结构的微驱动器有效
| 申请号： | 201910682015.3 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110308514B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 方玉明;沈林坤;李若舟;严静;于映 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/125;G02B26/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 210012 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于光波导结构的微驱动器，其结构包括光波导层和驱动臂两部分。其中，光波导层含有光波导结构和光热转换区域；光波导层和驱动臂两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。其中，所述光波导层可为单层或者多层，光波导结构可为直波导、“U”形波导、Y分支、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫‑曾德尔结构及其变换形式，光热转换区可位于光波导结构的芯层或者包层或者驱动臂或者光热转换区位于光波导层和驱动臂之间或者光波导层表面。本发明提供的基于光波导结构的微驱动器，利用光波导结构控制入射的光信号的导模传输，有利于实现微光机电系统的小型化，集成化和多重控制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波导 结构 驱动器 | ||
【主权项】：
1.一种基于光波导结构的微驱动器，其特征在于：所述基于光波导结构的微驱动器包括光波导层(1)和驱动臂(2)两部分；所述光波导层(1)上设置光波导结构(3)和光热转换区域(4)；所述基于光波导结构的驱动器由所述光波导层(1)和驱动臂(2)两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。
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