[发明专利]一种直拉单晶液位保护系统及其控制方法在审

专利信息
申请号: 201910682195.5 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN110284184A 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 王建平;王鑫;王林 申请(专利权)人: 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明提供一种直拉单晶液位保护系统,包括以下步骤:S1:根据导流筒下沿与坩埚内硅溶液的液面之间的距离,计算坩埚的理论位置;S2:监控坩埚的实际距离,并将坩埚的实际距离与坩埚的理论距离作对比,进行埚升控制。本发明的有益效果是使得直拉单晶液位保护系统结构简单,使用方便,通过判定坩埚的实际位置是否符合测算的坩埚理论位置,做出正确有效的防护动作,可以有效防止硅熔液因操作失误或系统失误导致的喷硅或爆炸事故,系统防护只需进行控制系统升级,投入成本低。
搜索关键词: 坩埚 液位保护 直拉单晶 理论位置 实际距离 导流筒下沿 爆炸事故 操作失误 控制系统 理论距离 实际位置 系统防护 系统结构 硅熔液 硅溶液 液面 判定 测算 防护 监控 升级
【主权项】:
1.一种直拉单晶液位保护系统控制方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:根据导流筒下沿与坩埚内硅溶液的液面之间的距离,计算坩埚的理论位置;S2:监控所述坩埚的实际距离,并将所述坩埚的实际距离与所述坩埚的理论距离作对比,进行埚升控制。
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