[发明专利]一种单晶炉CCD双目液位测控装置和方法在审
申请号: | 201910682520.8 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN110344109A | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;周铮超;王小飞;迟浩田;傅林坚;曹建伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;G01F23/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶炉技术领域,涉及视觉测量技术,特别是涉及一种单晶炉CCD双目液位测控装置和方法。包括炉体,炉体的顶部设有炉盖,炉体内设有坩埚和热屏;还包括CCD相机、控制器系统和升降机构;CCD相机设于炉盖顶部,用于观测炉内液面;热屏设于坩埚上方,升降机构设有坩埚下方,用于升降坩埚和热屏;控制器系统用于人机交互及控制升降机构。本发明还提供了一种利用上述装置进行的单晶炉CCD双目液位测控方法。本发明,不需要进行任何像素比例的转换,减小测量误差。控制器系统由上位机控制系统和PLC电气控制系统组成,协调控制,增强人机交互效率与电气控制效率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 坩埚 控制器系统 热屏 双目 液位测控装置 人机交互 升降机构 炉体 上位机控制系统 电气控制系统 电气控制 控制升降 炉盖顶部 视觉测量 协调控制 液位测控 减小 炉盖 炉内 像素 液面 升降 测量 观测 体内 转换 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉CCD双目液位测控装置,包括炉体,炉体的顶部设有炉盖,炉体内设有坩埚和热屏;其特征在于,还包括CCD相机、控制器系统和升降机构;所述CCD相机设于炉盖顶部,用于观测炉内液面;所述热屏设于坩埚上方,升降机构设有坩埚下方,用于升降坩埚和热屏;所述控制器系统用于人机交互及控制升降机构。
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