[发明专利]一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法有效
| 申请号： | 201910683822.7 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110449645B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;陈肖;任振洲;汪学方;王宜新;陆栩杰 | 申请（专利权）人： | 武汉数字化设计与制造创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/404 | 分类号： | G05B19/404 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430206 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法，通过建立精确的FIBM仿真模型，利用原始设计的灰度图进行仿真加工，计算每仿真轮次的轮廓误差，当轮廓误差达到预设值时，停止仿真，记录此时的轮廓误差及相应的仿真加工轮次，并将该仿真加工轮次作为输入的灰度图的加工轮次，如此反复，获得多个轮廓误差修形灰度图及对应加工轮次，指导FIBM实际加工。本发明改善了传统FIBM灰度图加工存在的较大面形偏差的缺陷，实现FIBM灰度图高精度加工三维微结构，该方法适用于不同形状、不同尺度和不同材料的FIBM加工，在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 fibm 三维 微结构 精度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型，所述轮廓仿真模型用于实现FIBM灰度图加工不同轮次的轮廓仿真；/nS2、将原始设计的灰度图输入到所述轮廓仿真模型中进行仿真；/nS3、将不同的仿真加工轮次与原始设计轮廓进行比较，计算出轮廓误差，当轮廓误差达到预设值时，停止仿真，记录此时的轮廓误差及相应的仿真加工轮次，并将该仿真加工轮次作为输入的灰度图的加工轮次；/nS4、根据停止仿真时的轮廓及所述轮廓误差得到轮廓误差修形灰度图，并通过所述轮廓仿真模型计算剩余修形轮次；/nS5、将轮廓误差修形灰度图输入所述轮廓仿真模型中继续仿真，重复S3~S4，得到多个轮廓误差修形灰度图及对应的加工轮次,直到利用S4得到的轮廓误差修形灰度图及剩余修形轮次完成整个仿真，且得到的轮廓误差没有达到预设值；/nS6、启动实际加工，先用原始设计的灰度图加工对应轮次，再依次更换轮廓误差修形灰度图进行相应轮次的加工。/n
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