[发明专利]一种多层高真空插板阀系统及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201910684455.2 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN110500425B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 张世一;陈丽;李宏宇;陈刚义;邹晓君;沈超;许若石;吴世任 申请(专利权)人: 上海卫星装备研究所
主分类号: F16K11/22 分类号: F16K11/22;F16K31/12;F16K31/06;F16K37/00;F16K51/02
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊;郭国中
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了多层高真空插板阀系统及其使用方法,包括多层高真空插板阀,所述多层高真空插板阀的两侧分别连接有真空容器,多层高真空插板阀设置有真空接口,所述真空接口连接至抽真空装置。本发明采用多层阀板过渡的结构形式,将阀体两侧的压差分摊到多层阀板,每层阀板两侧的最大压差能够缩减多倍,阀板的耐压要求大幅降低,使得大口径高真空插板阀的研制成为可能,解决了组合体构型的大型真空容器的真空通、断控制难题。
搜索关键词: 一种 多层 真空 插板 系统 及其 使用方法
【主权项】:
1.一种多层高真空插板阀系统,其特征在于,包括多层高真空插板阀,所述多层高真空插板阀的两侧分别连接有真空容器,多层高真空插板阀设置有真空接口,所述真空接口连接至抽真空装置。/n
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