[发明专利]一种镀膜室用基板装载装置有效
| 申请号： | 201910686560.X | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110331375B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄永长;龙汝磊;吴萍;魏晓庆 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中游星盘设置在公转驱动盘的下方且两者之间通过游星臂构成传动连接，行星平板设置在游星盘上且两者之间构成传动连接；公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过游星臂带动游星盘绕公转驱动盘的旋转中心公转，并且游星盘在游星臂的带动下同时自转；通过公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现行星平板在游星盘上的翻转。本发明的优点是：能够在真空镀膜室的一次镀膜过程中实现镀膜工件正反面的同时镀膜；采用机械化的限位结构，对镀膜工件的翻转进行精确限位，从而保证镀膜效果；装置结构简单合理，便于自动化控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 室用基板 装载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中所述游星盘设置在所述公转驱动盘的下方且两者之间通过所述游星臂构成传动连接，所述行星平板设置在所述游星盘上且两者之间构成传动连接；所述公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过所述游星臂带动所述游星盘绕所述公转驱动盘的旋转中心公转，并且所述游星盘在所述游星臂的带动下同时自转；通过所述公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现所述行星平板在所述游星盘上的翻转。
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