[发明专利]一种碳化硅单晶连续生长装置及其生长方法有效
| 申请号： | 201910687819.2 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110408998B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李留臣 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅单晶连续生长装置，包括依次连通的原料仓、生长仓和回收仓、用于将原料仓中的碳化硅多晶原料送入生长仓中的送料机构，送料机构还用于将生长仓中的残渣送入回收仓中，送料机构沿其送料方向依次经过原料仓、生长仓、回收仓；生长仓包括坩埚本体、可升降的套设或穿设于坩埚本体上部的且用于在其下表面安装籽晶的坩埚盖、用于驱动坩埚盖升降的驱动机构、用于为坩埚本体加热的加热机构；坩埚盖位于送料机构的上方。本发明一种碳化硅单晶连续生长装置，可以对坩埚本体中的碳化硅多晶原料不断进行补充，以保证碳化硅单晶的连续生长，从而获得大尺寸碳化硅单晶；同时不影响碳化硅多晶原料的输送和碳化硅单晶的生长条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 连续 生长 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅单晶连续生长装置，其特征在于：包括依次连通的原料仓、生长仓和回收仓、用于将所述原料仓中的碳化硅多晶原料送入所述生长仓中的送料机构，所述送料机构，还用于将所述生长仓中的残渣送入所述回收仓中，所述送料机构沿其送料方向依次经过所述原料仓、所述生长仓、所述回收仓；所述生长仓包括坩埚本体、可升降的套设或穿设于所述坩埚本体上部的且用于在其下表面安装籽晶的坩埚盖、用于驱动所述坩埚盖升降的驱动机构、用于为所述坩埚本体加热的加热机构；所述坩埚盖位于所述送料机构的上方。
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