[发明专利]一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910688910.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110257786B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张科;陈钦忠;叶开满;虞志轩 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F1/00;C22C29/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 薛红凡 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。由包括Ag粉体和SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 锡靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂银的氧化锡靶材，其特征在于，由包括Ag粉体和SnO2粉体制得，所述Ag粉体和SnO2粉体的质量比为1:50～1:100。
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