[发明专利]用于容器的干燥和分析测试的系统和方法有效
| 申请号： | 201910690171.4 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111473610B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | M·D·伯纳德;W·T·麦克德莫特;A·B·霍普金斯;J·J·西默;M·A·平吉特雷 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B23/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式提供了对已经清洁以重复使用的有机金属和有机硅烷前体源安瓿进行干燥和测试的系统和方法。干燥和质量控制测试在单个位置用单一设备进行，其仅需要安瓿与设备的一个手动连接/断开步骤。所述测试包括残留水分、夹带颗粒物、压差和氦气泄漏检查的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 容器 干燥 分析 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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