[发明专利]将金属非金属化合物用作前驱物的光产生系统及方法在审
| 申请号： | 201910690318.X | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110780540A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 许青翔;徐丰源;张旭凯;杨棋铭 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 龚诗靖 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例涉及将金属非金属化合物用作前驱物的光产生系统及相关的光产生方法。本发明实施例提供一种光产生系统。所述光产生系统包含汽化装置、激光装置及透镜结构。所述汽化装置经配置以汽化金属非金属化合物以产生金属非金属前驱气体。所述激光装置经配置以提供激光，且用所述激光照射从所述汽化装置释放的所述金属非金属前驱气体以发射光信号。所述透镜结构经配置以朝向用于光刻工艺的光掩模引导所述光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 金属非金属 光产生系统 汽化装置 激光装置 前驱气体 透镜结构 配置 汽化 光刻工艺 激光照射 发射光 光产生 光掩模 前驱物 激光 释放 | ||
【主权项】：
1.一种光产生系统，其包括：/n汽化装置，其经配置以汽化金属非金属化合物以产生金属非金属前驱气体；/n激光装置，其经配置以提供激光，且用所述激光照射从所述汽化装置释放的所述金属非金属前驱气体以发射光信号；及/n透镜结构，其经配置以朝向用于光刻工艺的光掩模引导所述光信号。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910690318.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微影投影设备
- 下一篇：半导体制程系统与方法
