[发明专利]一种红外热辐射光源及红外传感器有效
| 申请号： | 201910691100.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110400862B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 汪丽杰;佟存柱;舒世立;田思聪;张新;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/24;G01N21/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种红外热辐射光源，从下至上依次包括衬底及半导体纳米线；所述半导体纳米线设置在所述衬底表面；周期性排列的所述半导体纳米线与周围的空气形成二维光子晶体，所述二维光子晶体用于限缩出射光的光谱宽度。本申请提供的技术方案中，由于所述半导体纳米线可直接从所述衬底表面的预定位置开始生长，相比于现有技术，不需要先整层生长再刻蚀出柱状结构，简化了工艺，节约了原料，降低了生产成本；纳米线生长技术不需要考虑所述半导体纳米线与所述衬底的晶格适配问题，扩大了材料的选择范围；所述半导体纳米线的侧壁光滑，具有较高的Q因子，可进一步缩窄发射光谱。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的红外传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 热辐射 光源 红外传感器 | ||
【主权项】：
1.一种红外热辐射光源，其特征在于，从下至上依次包括衬底及半导体纳米线；所述半导体纳米线设置在所述衬底表面；周期性排列的所述半导体纳米线与周围的空气形成二维光子晶体，所述二维光子晶体用于限缩出射光的光谱宽度。
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