[发明专利]一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机在审
| 申请号： | 201910692042.9 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110484872A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡玉明 | 申请（专利权）人： | 蔡玉明 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510610 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其结构包括靶材溅射主控台、靶材溅射护套、切换柄、辅盖、调控视板、半导体靶材配叠转换冷却装置，靶材溅射护套底端通过嵌入的方式安装在靶材溅射主控台顶端，辅盖顶端设有切换柄，本发明通过在装载靶材时将靶材辅套与靶材内套展开调节至适合该靶材的约束点并通过插接被压片完成配接固定，同时能够通过掰拉侧撑翻控机构调节至适应该靶材的直径，以使用靶材的实际高度，当靶材消耗到靶材主套的高度时，形成一条直线，引导内部靶材的热量并以最大接触面与其进行交换，能够使靶材的表面始终处于均匀轰击的状态，并且最大限度的自动匹配调节冷却的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 溅射 切换柄 主控台 辅盖 护套 半导体靶材 半导体制冷 冷却薄膜 冷却装置 自动匹配 溅射机 嵌入的 约束点 侧撑 插接 底端 内套 配接 视板 压片 主套 转换 轰击 冷却 装载 消耗 调控 交换 | ||
【主权项】：
1.一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其结构包括靶材溅射主控台(qq1)、靶材溅射护套(qq2)、切换柄(qq3)、辅盖(qq4)、调控视板(qq5)、半导体靶材配叠转换冷却装置(qq6)，其特征在于：/n所述靶材溅射护套(qq2)底端通过嵌入的方式安装在靶材溅射主控台(qq1)顶端，所述辅盖(qq4)顶端设有切换柄(qq3)，所述半导体靶材配叠转换冷却装置(qq6)装设于靶材溅射护套(qq2)内部，所述调控视板(qq5)底端采用电焊的方式固定连接于靶材溅射主控台(qq1)顶端。/n
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