[发明专利]一种测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法有效

专利信息
申请号: 201910694543.0 申请日: 2019-07-30
公开(公告)号: CN110412488B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 曹永泽 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: G01R33/09 分类号: G01R33/09;G01R33/07
代理公司: 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21242 代理人: 杨威;张海燕
地址: 116000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法,测量装置包括磁力显微镜、探针、感应线圈、面内磁化隧道结和电阻测量线路,测量过程包括以下步骤:将探针置于面内磁化隧道结不同高度上,对应高度时面内磁化隧道结的电阻,绘制垂直方向上探针抬举高度与面内磁化隧道结电阻之间的关系曲线Ⅰ;利用感应线圈施加不同电流,测得感应线圈中通入不同电流时面内磁化隧道结的电阻,感应线圈在面内磁化隧道结处产生的磁场强度与面内磁化隧道结的电阻之间的关系曲线Ⅱ;比较曲线Ⅰ和曲线Ⅱ的数值,得到磁力显微镜探针在不同抬举高度时的杂散场强度值,最终实现磁力显微镜的定量测试。该方法可以精确获得探针的杂散场强度,实现磁力显微镜的定量测试。
搜索关键词: 一种 测量 磁力 显微镜 探针 散场 强度 方法
【主权项】:
1.一种测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法,其特征在于:测量装置包括磁力显微镜、探针、感应线圈、面内磁化隧道结和电阻测量线路,测量过程包括以下步骤:S1、利用磁力显微镜、探针、面内磁化隧道结和电阻测量线路测得探针处于面内磁化隧道结不同高度时面内磁化隧道结的电阻,绘制垂直方向上探针抬举高度与面内磁化隧道结电阻之间的关系曲线Ⅰ;S2、利用磁力显微镜、感应线圈、面内磁化隧道结、电阻测量线路测得感应线圈中通入不同电流时面内磁化隧道结的电阻,绘制感应线圈产生的磁场强度与面内磁化隧道结的电阻之间的关系曲线Ⅱ;S3、比较曲线Ⅰ和曲线Ⅱ的数值,得到磁力显微镜探针在不同抬举高度时的杂散场强度值,最终实现磁力显微镜的定量测试。
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