[发明专利]用于被动元件的表面处理工艺的治具

摘要

本发明公开了一种用于被动元件的表面处理工艺的治具，其构成主要包括：一承载板、形成于承载板之上的多个突起件、与多个侧板。如此设计，大量的表面黏着型被动元件被同时放入治具的承载板之上以后，只要适当地摇晃治具，便可以令各个表面黏着型被动元件微卡合于彼此相邻的任两个突起件之间，使得每个卡合固定的表面黏着型被动元件的每个表面能够与气流接触。因此，采用化学气相沉积或原子层沉积技术对每个表面黏着型被动元件执行一表面处理工艺时，表面黏着型被动元件的每个表面都可以被覆上均匀、致密的保护层。