[发明专利]一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201910700292.2 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110331366B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 田守勤;张勇强;赵修建;杨鑫伟;陆忠成 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：以金属钒靶和氧化锌陶瓷靶溅射靶材，氩气为反应气体，在石英玻璃上沉积得到掺有氧化锌的钒膜；所得掺有氧化锌的钒膜放入退火炉中退火处理得到二氧化钒基复合薄膜。本发明磁控溅射过程中不需要对基片台进行加热处理，溅射过程简单，并将制备掺有氧化锌的钒膜与制备二氧化钒基复合薄膜过程分开处理，使得制备过程更易操控，后续的退火过程操作简单，不需要通入其他气体，符合大规模生产的要求。同时在保证二氧化钒一定量的基础上有钒酸锌生成，这极大的增加了薄膜的可见光透过率，且太阳光调制效率还略有提高，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)以金属钒靶和氧化锌陶瓷靶溅射靶材，氩气为反应气体，在石英玻璃上沉积得到掺有氧化锌的钒膜；2)所得掺有氧化锌的钒膜放入退火炉中退火处理得到二氧化钒基复合薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉理工大学，未经武汉理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910700292.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
