[发明专利]一种大尺寸单晶的收尾工艺及大尺寸单晶的制备工艺有效
| 申请号： | 201910700748.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112301414B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 郭谦;张文霞;高润飞;王林;徐强;霍志强;韩凯;武志军;郭志荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸单晶的收尾工艺，在等径生长结束后，依次包括S1：稳定热场温度，阶梯式提高单晶拉速并保持埚转速度不变，使单晶直径缩小至比等径直径低；S2：迅速提高加热器功率以提升热场温度，并将埚转速度降低，同时对所述S1中的单晶拉速进行阶梯式降速，所述单晶拉速降低一定速度后保持不变直至收尾结束。采用本发明收尾工艺能够在2h内完成对大尺寸单晶的收尾收尖，解决了现有收尾工艺中收尾生长效率低的问题，且并未出现断苞、结晶或位错等现象，保证产权质量，提高单晶产能。本发明还公开了一种大尺寸单晶的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 收尾 工艺 制备 | ||
【主权项】：
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