[发明专利]基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法在审
申请号: | 201910701219.7 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN110411371A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 孔金星;陈宇;杜东兴;黄文;陈一;汤金钢;马绍兴 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B15/04;G06T7/13 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法,先在扫描电镜腔内使用FIB模式对刀具后刀面上的圆弧面进行刻蚀获取参考点,然后在超景深显微镜下,基于参考点提取刀具刃口轮廓。本发明通过FIB刻蚀参考点,确保不同切削距离下提取的退化轮廓数据起始点一致,能够精确获得每次切削后特定位置的刀具刃口轮廓数据点,从而获得刀具随着切削距离的变化刀具刃口轮廓退化曲线,为刀具钝圆半径、刀具磨损规律及机理的分析奠定基础。 | ||
搜索关键词: | 刀具刃口 刻蚀 参考点 切削 刀具 轮廓数据 轮廓提取 刀具磨损 扫描电镜 退化曲线 起始点 圆弧面 钝圆 后刀 景深 腔内 显微镜 退化 分析 | ||
【主权项】:
1.基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法,其特征在于,先在扫描电镜腔内使用FIB模式对刀具后刀面上的圆弧面进行刻蚀获取参考点,然后在超景深显微镜下,基于参考点提取刀具刃口轮廓。
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