[发明专利]一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法有效
| 申请号： | 201910701360.7 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112305865B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李平欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法，属于光刻设备技术领域。该可动刀口装置通过设置X向振动消除单元和Y向振动消除单元能够减小X向开口尺寸调节单元和Y向开口尺寸调节单元运动时对支撑单元产生的振荡冲击，从而减小对承载该装置的机械系统产生的扰动，提升装置工作时的平稳可靠性，提高加工精度和产品性能；同时，通过设置气浮组件能够减小各轴运动时的阻力，从而实现该装置的高速运动，提高光刻设备的产率。并且，X1模组和X2模组共轨运动及Y1模组和Y2模组共轨运动，简化了集成装调工序和装置结构，提高了集成装配效率和装置可靠性，同时降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀口 装置 光刻 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910701360.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
