[发明专利]一种压力传感器及制作方法在审
| 申请号： | 201910702298.3 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110416401A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杨诚;陈超杰;戴万宇 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/053;H01L41/113;H01L41/193;H01L41/22;G01L1/16 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及制作方法，压力传感器包括：下保护层、位于下保护层上的呈平面周期性排列的下电极阵列、压电层、位于压电层上呈平面周期性分布的上电极阵列、上保护层；在所述上保护层和所述下保护层的边缘分别设置上电极阵列的引线和下电极阵列的引线，用于连接外部测量电路。采用压电材料作为信号发生源，在受力时通过压电效应产生电信号，通过信号检测和处理装置对信号进行分析和处理，实现了自供电工作。并且传感器结构简单，灵敏度高、具有一定的柔性，在人机交互、触摸屏领域、柔性电子设备等领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 下保护层 下电极阵列 电极阵列 上保护层 压电层 传感器结构 信号发生源 周期性分布 周期性排列 处理装置 人机交互 柔性电子 外部测量 信号检测 压电材料 压电效应 灵敏度 触摸屏 自供电 受力 制作 电路 应用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：下保护层、位于下保护层上的呈平面周期性排列的下电极阵列、压电层、位于压电层上呈平面周期性分布的上电极阵列、上保护层；在所述上保护层和所述下保护层的边缘分别设置上电极阵列的引线和下电极阵列的引线，用于连接外部测量电路。
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