[发明专利]一种大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法在审
| 申请号： | 201910703397.3 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112301425A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 宋瑞强;张文霞;高润飞;徐强;武志军;郭谦;郭志荣;韩凯;赵志远 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，包括融料，稳温，引晶，放肩，转肩，等径和收尾，拉晶过程保持氩气流量为90‑120SLPM，保持炉压25Mpa，其中稳温，引晶，放肩阶段保持氩气流量为100‑120SLPM；转肩阶段保持氩气流量为100‑110SLPM；等径阶段保持氩气流量为90‑100SLPM。本发明的有益效果是：采用大氩气流量和大炉压能够满足大尺寸单晶硅棒的生长需求，单晶硅棒散热较快，能够实现高拉速，并且炉内温度比较稳定，有利于单晶生长，成晶率更高；通过增大生产过程中氩气流量和炉压保证炉内压力气流更加恒定；并且为了尽量避免造成能源浪费，采用阶段式流量方法，满足大尺寸单晶硅棒的生产需求，还能尽可能节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 单晶硅 棒大氩气 流量 方法 | ||
【主权项】：
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