[发明专利]一种激光直接成像曝光机及其成像方法在审
| 申请号： | 201910703850.0 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110412836A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 梅力;胡朗 | 申请（专利权）人： | 江苏盟星智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光直接成像曝光机及其成像方法，包括曝光机构、成像平台、支撑平台和底座，底座底部固定安装有支撑腿，支撑平台设置在底座正上方，支撑平台和底座之间安装有多组升降气缸，底座上安装有与升降气缸连接的气缸控制器，支撑平台上端面安装有成像平台，成像平台表面安装有基板传输机构，曝光机构设置在成像平台正上方，曝光机构对下方的基板进行直接成像曝光，本发明结构设计新颖，操作方便，能够实现对基板的快速曝光，自动化程度高，稳定性好，提高了成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 底座 成像平台 支撑平台 曝光机构 成像 激光直接成像 升降气缸 曝光机 基板传输机构 气缸控制器 表面安装 直接成像 曝光 对基板 上端面 支撑腿 基板 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种激光直接成像曝光机，包括曝光机构（1）、成像平台（2）、支撑平台（3）和底座（4），其特征在于：所述底座（4）底部固定安装有支撑腿（5），所述支撑平台（3）设置在底座（4）正上方，所述支撑平台（3）和底座（4）之间安装有多组升降气缸（6），所述底座（4）上安装有与升降气缸（6）连接的气缸控制器（7），所述支撑平台（3）上端面安装有成像平台（2），所述成像平台（2）表面安装有基板传输机构（8），所述曝光机构（8）设置在成像平台（2）正上方，所述曝光机构（1）对下方的基板（9）进行直接成像曝光。
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