[发明专利]耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件有效
| 申请号： | 201910711558.3 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN112301321B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陆涛;王杰;王丽媛 | 申请（专利权）人： | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 200241 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件，其中的耐冲蚀涂层的制备方法使用PIIID将Ti元素和N元素注入并沉积至基体表面，形成TiN涂层；以及使用PIIID将Si元素注入到所述TiN涂层，对所述TiN涂层的浅表层进行改性，形成TiSiN层，获得一层耐冲蚀涂层。在所述制备方法的一个或多个实施方式中，重复制备所述TiN涂层和所述TiSiN层至少一次，进而获得多层耐冲蚀涂层。该制备方法提升了硬质涂层的耐冲蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 冲蚀 涂层 制备 方法 及其 被覆 | ||
【主权项】：
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