[发明专利]氩离子切割装置有效
| 申请号： | 201910711694.2 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110355455B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 杜忠明;杨继进;陈卫;周飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 郭晓龙;刘芳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氩离子切割装置，涉及样品表面处理技术。氩离子切割装置，包括氩离子源、样品台、离子束挡板、底座和驱动装置；离子束挡板位于氩离子源与样品台之间，且离子束挡板遮蔽部分氩离子源射向样品的氩离子束；样品台和离子束挡板固定在底座上；驱动装置与底座连接以带动底座移动、转动。本发明的氩离子切割装置通过移动、转动底座确保增大样品切割面的宽度的同时，防止产生离子划痕。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 切割 装置 | ||
【主权项】：
1.一种氩离子切割装置，其特征在于，包括氩离子源、样品台、离子束挡板、底座和驱动装置；所述样品台朝向所述氩离子源的侧面为承载面，样品固定在所述承载面上；所述离子束挡板位于所述氩离子源与所述样品台之间，且所述离子束挡板遮蔽部分所述氩离子源射向所述样品的氩离子束；所述样品台和所述离子束挡板固定在所述底座上；所述驱动装置与所述底座连接以带动所述底座移动。
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