[发明专利]一种光掩模板保护膜胶印去除的装置及方法

摘要

本发明公开了一种光掩模板保护膜胶印去除的装置及方法，包括移动平台、工作台面、微流体喷头和控制器，移动平台上设置有微流体喷头，移动平台能够带动微流体喷头实现X、Y、Z方向的平移，工作台面用于放置带有保护膜胶印的光掩模板，工作台面位于微流体喷头移动范围的下方。控制器控制移动平台使微流体喷头移动至保护膜胶印处，开启药剂泵与真空泵，控制器根据激光测距仪的数据调整微流体喷头的竖直距离，调控真空泵的转速使喷嘴槽内产生的虹吸效应，移动并对保护膜胶印进行清洗。本发明的微流体喷头在喷嘴槽内形成流动的“液带”，可以持续喷涂新鲜的药剂，同时可以将清洗后的废液及时带走，大大缩短了清洗工艺的时间，高效省时。

主权项

1.一种光掩模板保护膜胶印去除的装置，其特征在于：包括移动平台、工作台面、微流体喷头和控制器，所述移动平台上设置有所述微流体喷头，所述移动平台能够带动所述微流体喷头实现X、Y、Z方向的平移，所述工作台面用于放置带有保护膜胶印的光掩模板，所述工作台面位于所述微流体喷头移动范围的下方，所述能够使清洗药剂在所述微流体喷头的喷嘴槽内流动，所述控制器与所述移动平台的电机电连接。