[发明专利]载物台水冷装置及其故障检测方法在审
| 申请号： | 201910718100.0 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112325558A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李言彬;张志强 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 傅康 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种载物台水冷装置及其故障检测方法，载物台水冷装置包括：水箱、第一管道和第二管道，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括与抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与水箱的回流口连接的回流管道，第二管道连接于抽取管道和回流管道之间且靠近抽水口和回流口，第一管道与水箱形成制冷循环回路，第二管道与水箱形成测试循环回路；故障检测方法包括：开通制冷循环回路、关闭测试循环回路，获取抽水口处的第一流量值和回流管道的第二流量值；关闭制冷循环回路、开通测试循环回路，获取抽水口处的第三流量值；根据第一流量值、第二流量值、第三流量值和目标流量值判断故障类型。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 水冷 装置 及其 故障 检测 方法 | ||
【主权项】：
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