[发明专利]喷嘴、包含所述喷嘴的喷枪及其工作方法在审
| 申请号： | 201910720691.5 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110339963A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 杨桂林;郭盛;陈星建;左涛涛;王凯麟 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/06 | 分类号： | B05B13/06;B05B1/16;B05B12/08;B05B12/04;B05B5/12;B05B5/08;B05B5/16 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种喷嘴、包含所述喷嘴的喷枪及其工作方法，其中，喷枪包括：出料部，所述出料部包括第一区和第二区，所述第一区的侧壁设有若干第一出料口，所述第一出料口与所述出料部的内部空间连通；引流部，所述引流部靠近所述出料部的第二区并与所述出料部的内部空间连通，且所述引流部的侧壁设有引流槽，所述引流槽与引流部的内部空间连通；与所述引流部连接的枪体，所述枪体用于向引流部内输送涂料，所述涂料由引流部进入出料部并从第一出料口喷出。所述喷枪能够对高深宽比开孔的内侧壁进行喷涂工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 引流 出料部 喷嘴 喷枪 出料口 连通 第一区 引流槽 侧壁 枪体 涂料 高深宽比 喷涂工艺 内侧壁 开孔 喷出 | ||
【主权项】：
1.一种用于喷枪的喷嘴，其特征在于，包括：出料部，所述出料部包括第一区和第二区，所述第一区的侧壁设有若干第一出料口，所述第一出料口与所述出料部的内部空间连通；引流部，所述引流部靠近所述出料部的第二区并与所述出料部的内部空间连通，且所述引流部的侧壁设有引流槽，所述引流槽与引流部的内部空间连通。
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