[发明专利]一种工件自动传输装置及其自动传输方法在审
申请号: | 201910721870.0 | 申请日: | 2019-08-06 |
公开(公告)号: | CN110491814A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 胡中伟;曾志坚;林琳;姜峰;陆静;温秋玲;黄辉;崔长彩 | 申请(专利权)人: | 华侨大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 35204 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人: | 杨依展<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 362000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法,工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒;所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器;所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点:能自动上料‑传送‑下料,提高生产过程自动化,减少生产过程中的劳动力需求,提高传片效率,有利于降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 下料 自动传输装置 传送 晶舟盒 上料 生产过程自动化 光学传感器 劳动力需求 皮带运输机 层叠装置 传片效率 导向机构 翻转机构 平滑导轨 气缸推杆 生产过程 升降机构 装载机构 自动传输 自动上料 | ||
【主权项】:
1.一种工件自动传输装置,其特征在于:包括上料部分、传送部分和下料部分;/n所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒,所述翻转机构装接在升降机构且通过升降机构能升降翻转机构,所述第一晶舟盒装接在翻转机构且通过翻转机构能翻转第一晶舟盒,所述气缸推杆机构包括气缸和滑动连接气缸的推杆,所述推杆对应第一晶舟盒以能推出第一晶舟盒内的工件;/n所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器,所述光学传感器固定布置且位于皮带运输机之上,所述平滑导轨倾斜布置,所述平滑导轨上端对应第一晶舟盒且不高于推杆所处高度,所述平滑导轨下端对应皮带运输机输入端且不低于皮带运输机,使被推杆推出的工件经平滑导轨能滑至皮带运输机上;/n所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒,所述第二晶舟盒装接在往复移动装载机构上且通过往复移动装载机构带动第二晶舟盒水平移动,所述导向机构设置于往复移动装载机构的上方以使从皮带运输机输出端输出的工件经导向机构能落入第二晶舟盒内。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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