[发明专利]一种高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置和方法有效
| 申请号： | 201910722742.8 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110396671B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 高克玮;宋有朋;乔利杰;庞晓露;颜鲁春;杨会生 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/14;C22C9/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置和方法，涉及薄膜制备技术领域，能够通过一次实验制备出多种不同材料成分的均匀的薄膜样品，大大提高制备效率；该装置包括反应腔室，所述反应腔室内设有沉积台平板、驱动系统和溅射靶，所述溅射靶吊设在所述反应腔室的顶部；所述沉积台平板上设有若干旋转沉积微区单元，所述旋转沉积微区单元穿过所述沉积台平板，且与所述沉积台平板间可旋转的连接；所述旋转沉积微区单元与所述驱动系统连接，在所述驱动系统的动力驱动下实现同步旋转。本发明提供的技术方案适用于溅射制备薄膜的过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 制备 组分 均匀 薄膜 材料 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述装置包括反应腔室，所述反应腔室内设有沉积台平板、驱动系统和溅射靶，所述溅射靶吊设在所述反应腔室的顶部；所述沉积台平板上设有若干旋转沉积微区单元，所述旋转沉积微区单元底部穿过所述沉积台平板，且与所述沉积台平板间可旋转的连接；所述旋转沉积微区单元与所述驱动系统连接，在所述驱动系统的动力驱动下实现同步旋转。
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