[发明专利]一种单晶硅棒加工装置在审
| 申请号： | 201910723239.4 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110257902A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 骆仕斌 | 申请（专利权）人： | 阳江职业技术学院 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 曹勇 |
| 地址： | 529599 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖、下炉盖、拉升旋转机构、提拉杆、抽气管、导流筒、石英坩埚、加热器、电机柱，所述上炉盖内设置有沿提拉杆杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中冷却机构包括套设在提拉杆外的引流板以及安装风冷器的安装底座，上炉盖的炉体上设置有进风孔，引流板上开设有降温口以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽；所述挡热组件包括密封在安装槽上的隔板和提供压紧力的弹簧，所述提拉杆上设置有在尾部生长状态时抬升隔板的拉块；本发明的目的是提供一种单晶硅棒加工装置，旨在形成环形气流，保证晶棒在同一区域能够均匀冷却，提高晶棒的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉杆 单晶硅棒 加工装置 热组件 上炉盖 晶棒 隔板 冷却机构 安装槽 引流板 加热器 安装底座 封闭结构 环形气流 均匀冷却 热量散发 生长状态 石英坩埚 同一区域 旋转机构 抽气管 导流筒 电机柱 风冷器 进风孔 下炉盖 压紧力 弹簧 杆壁 拉块 拉升 炉体 抬升 密封 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖(1)、下炉盖(2)、拉升旋转机构(3)、提拉杆(4)、抽气管(15)、导流筒(16)、石英坩埚(17)、加热器(19)、电极柱(20)，其特征在于，所述上炉盖(1)内设置有沿提拉杆(4)杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中：冷却机构包括套设在提拉杆(4)外的引流板(5)以及安装风冷器(7)的安装底座(6)，上炉盖(1)的炉体上设置有进风孔(9)，引流板(5)上开设有降温口(8)以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽(13)；所述挡热组件包括密封在安装槽(13)上的隔板(10)和提供压紧力的弹簧(11)，所述提拉杆(4)上设置有在尾部生长状态时抬升隔板(10)的拉块(12)。
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