[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910726277.5 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112039462A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 杨国煌 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中薄膜体声波谐振器的制造方法包括：提供第一衬底；在第一衬底上形成压电叠层结构，压电叠层结构包括依次叠层的第二电极层、压电层和第一电极层；图形化第一电极层，以形成第一电极，使位于有效谐振区中的第一电极的部分边缘截止于空腔上方；形成第一电极后，在压电叠层结构上形成支撑层；在支撑层中形成贯穿支撑层的空腔；在支撑层上键合第二衬底，第二衬底遮盖空腔；键合第二衬底后，去除第一衬底；图形化第二电极层，以形成第二电极，使位于有效谐振区中的第二电极的部分边缘截止于空腔上方，有效谐振区以外的第一电极和第二电极在垂直于压电层方向上无重叠的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯集成电路（宁波）有限公司，未经中芯集成电路（宁波）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910726277.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
