[发明专利]一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料及其制备方法有效
申请号: | 201910729599.5 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110528287B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 邢高瞻;赵伟栋;吴建民;唐涛;葛伦年;程艳西;张彪;江黄 | 申请(专利权)人: | 安徽安利材料科技股份有限公司 |
主分类号: | D06M15/564 | 分类号: | D06M15/564;D06M11/45;D06M11/79;D06M101/34;D06M101/32;D06M101/28 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230093 安徽省合肥市经济技术*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料及其制备方法,由无纺布、多官能异氰酸酯、预聚物多元醇以及耐磨无机材料作为原材料,以无纺布为基底材料,通过湿法六辊强制挤压含浸聚氨酯浆料,有效增加基底材料的聚氨酯含浸量,经过凝聚、水洗、烘干得到化学机械抛光聚氨酯材料坯革;然后经过正反两面打磨,表面平整,得到一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料。可用于半导体材料、光学器件、电子显示器件以及贵重金属材料中的切口或者圆弧状断面进行化学机械抛光,解决了现有的平面磨抛光技术不能够解决半导体材料切口或者圆弧状断面等的抛光问题,填补了水平面抛光技术上的不足,进一步切口或者圆弧状断面等抛光加工的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 毛刷 耐用 化学 机械抛光 聚氨酯 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料及其制备方法,其特征在于,所述聚氨酯材料由无纺布、多官能异氰酸酯、预聚物多元醇以及耐磨无机材料作为原材料成分制成;/n其中多官能异氰酸酯与预聚物多元醇反应制备,由异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物,其中所述异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物含有重量2-10%的未反应异氰酸酯基团;/n所述聚氨酯材料的制备方法包括以下步骤:以无纺布为基底材料,通过湿法六辊强制挤压含浸聚氨酯浆料,有效增加基底材料的聚氨酯含浸量,经过凝聚、水洗、烘干得到化学机械抛光聚氨酯材料坯革;然后经过正反两面打磨,表面平整,得到一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料。/n
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