[发明专利]一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法有效
| 申请号： | 201910730074.3 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110486617B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张观海;陈艳珊;廖恒易 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;B01D53/81;B01D53/78;B01D53/68;C23C26/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种含氟混合气的配气系统，包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；主管的一端连通至调压瓶，主管的另一端连通至含氟瓶；钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，钢瓶组管连通至主管；气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，真空泵的输出端连通至尾气处理装置；本发明根据上述内容提出一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法，能够对钢瓶内壁的进行钝化处理，也可以实现配制任何含氟比例的混合气，并且有效地处理尾气的排放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 系统 及其 钝化 方法 配重 | ||
【主权项】：
1.一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；/n所述主管的一端连通至调压瓶，所述主管的另一端连通至含氟瓶；/n所述钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，所述钢瓶组管连通至主管；/n所述气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；/n所述抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置；/n所述排空管的一端连通至吸附器的输入端，吸附器的输出端连通至尾气处理装置，所述排空管的另一端连通至第二分管的一端，所述第二分管的另一端连通至抽空管；/n所述第一分管的一端连通至主管，所述第一分管的另一端连通至排空管。/n
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