[发明专利]一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法在审
| 申请号： | 201910730450.9 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110420538A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 傅铸红;张观海;叶相平 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01J20/34 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种超高纯气体吸附剂的活化系统，包括氦气源、纯化器、氮气源、加热器和吸附器；氦气源的输出端连通于纯化器的输入端；纯化器的输出端连通于加热器的输入端；氮气源的输出端连通于加热器的输入端；加热器的输出端连通于吸附器的输入端；吸附器的输出端设有排空端和在线分析端；吸附器内装载有待活化的吸附剂。本发明根据上述内容提出一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法，活化过程质量可控，能够在线分析杂质的含量，操作过程安全可靠，活化后的吸附剂纯度高。 | ||
| 搜索关键词： | 输出端 吸附剂 加热器 输入端 吸附器 连通 超高纯气体 活化系统 纯化器 活化 在线分析 氮气源 氦气源 操作过程 可控 排空 装载 | ||
【主权项】：
1.一种超高纯气体吸附剂的活化系统，其特征在于：包括氦气源、纯化器、氮气源、加热器和吸附器；所述氦气源的输出端连通于所述纯化器的输入端；所述纯化器的输出端连通于所述加热器的输入端；所述氮气源的输出端连通于所述加热器的输入端；所述加热器的输出端连通于吸附器的输入端；所述吸附器的输出端设有排空端和在线分析端；所述吸附器内装载有待活化的吸附剂。
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