[发明专利]电子射线显微分析仪、数据处理方法以及存储介质有效
申请号: | 201910731587.6 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110823937B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 坂前浩 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01N23/2252 | 分类号: | G01N23/2252;G01N23/2209;G05B19/042 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种电子射线显微分析仪、数据处理方法以及存储介质,能够使修正标准灵敏度曲线的数据的作业简化。存储部按电子射线的每个加速电压存储标准灵敏度曲线的数据、标准灵敏度值以及标准灵敏度曲线的初始数据。更新处理部基于一个加速电压下的标准灵敏度值的实测值来更新存储部中存储的标准灵敏度值,此时使用标准灵敏度曲线计算处理部来更新存储部中存储的标准灵敏度曲线的数据,并且根据存储部中存储的各标准灵敏度曲线的数据的初始数据来求出在加速电压发生了变化时标准灵敏度值变化的比例,根据该比例和标准灵敏度值的实测值来计算其它加速电压下的标准灵敏度值,基于该标准灵敏度值来更新标准灵敏度曲线的数据并使更新后的数据存储到存储部。 | ||
搜索关键词: | 电子 射线 显微 分析 数据处理 方法 以及 存储 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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