[发明专利]一种电压可调的双向ESD保护器件及其制作方法

摘要

本发明公开一种电压可调的双向ESD保护器件，包括N型衬底，N型衬底上生长有第一次P型外延层，第一次P型外延层注入扩散形成的P型势垒阻挡层，P型势垒阻挡层上生长的第二次P型外延层，第二次P型外延层表面注入扩散形成的N+掺杂层，隔离槽上设有绝缘介质层，N+掺杂层和绝缘介质层上设有正面金属电极，N型衬底底部设有背面金属电极。步骤：1：准备N型衬底，在N型衬底上生长第一次P型外延层；2：在第一次P型外延层上，生长一次牺牲氧化层，形成P型势垒阻挡层；步骤3：进行第二次P型外延层生长；4：第二次P型外延层基区表面再次生长一次牺牲氧化层；5：淀积隔离介质层形成深槽隔离区及隔离介质层；6：淀积金属层。

主权项

1.一种电压可调的双向ESD保护器件，包括N型衬底、第一次P型外延层、第二次P型外延层、P型势垒阻挡层、N+掺杂区、隔离槽、隔离介质层、正面金属电极、背面金属电极，其特征在于：所述N型衬底上生长有第一次P型外延层，所述第一次P型外延层注入扩散形成的P型势垒阻挡层，所述P型势垒阻挡层上生长的第二次P型外延层，所述第二次P型外延层表面注入扩散形成的N+掺杂层，所述隔离槽贯穿NPN结构，所述隔离槽上设有绝缘介质层，所述N+掺杂层和绝缘介质层上设有正面金属电极，所述N型衬底底部设有背面金属电极。