[发明专利]一种溅射旋转铝铜合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910734709.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110396669A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 吴健;雷雨;肖世洪;周志宏;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/12;C23C24/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种溅射旋转铝铜合金靶材及其制备方法。所述溅射旋转铝铜合金靶材包括以下重量百分比的组分：难熔物质0.2‑3wt％、铜0.5‑6wt％和铝余量，所述难熔物质为熔点超过1500℃的金属或氧化物。本发明以高纯铝粉、铜粉、难熔金属或氧化物粉末为原料，经冷喷涂制备旋转铝铜合金靶材。本发明所用方法工艺简单、操作方便，适合大规模工业生产，制备出的靶材纯度高(≥99.9％)、相对密度大(≥95％)，氧含量小于1500ppm，综合性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 铝铜合金靶 制备 溅射 难熔 熔点 氧化物粉末 重量百分比 靶材纯度 难熔金属 综合性能 冷喷涂 氧化物 高纯 铝粉 铜粉 金属 | ||
【主权项】：
1.一种溅射旋转铝铜合金靶材，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：难熔物质0.2‑3wt％、铜0.5‑6wt％和铝余量，所述难熔物质为熔点超过1500℃的金属或氧化物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州市尤特新材料有限公司，未经广州市尤特新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910734709.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
