[发明专利]一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201910736696.7 | 申请日： | 2019-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN110328237B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘华春;冉继龙;詹开严;郑自链;刘旺;石亚雨;孙连勇 | 申请（专利权）人： | 中铝东南材料院（福建）科技有限公司;中铝瑞闽股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B38/00;B21B37/74 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 钱莉;蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法，在大尺寸5N高纯铝轧制至一定厚度时，沿宽度方向上，每隔100~300mm检测轧辊的温度T1~Tn，或者检测5N高纯铝靶材沿宽度方向上每隔（100~300mm）的温度，再根据温度曲线图，设定特定的工作辊冷却曲线，使后续轧制道次过程中，保证其轧制温度的均匀性，从而保证大尺寸5N高纯铝靶材严宽度方向的均匀性。本发明制备的大尺寸5N高纯铝靶材，其晶粒均匀性好，工艺过程简单，生产周期短，生产效率高，成品率高，具有生产及市场竞争优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 高纯 铝靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1：在5N高纯铝轧制至≥100mm厚度时，沿宽度方向每隔100~300mm检测轧辊的温度T1~Tn或沿宽度方向每隔100~300mm检测5N高纯铝靶材的温度；步骤S2：根据步骤S1得到的温度，绘制测温曲线，根据测温曲线，选取特定的工作辊冷却曲线，即通过对乳液喷射量的调整，对轧辊及5N高纯铝靶材进行温度控制，用以实现轧制过程的轧辊及5N靶材沿宽度方向的温度均匀性，从而实现靶材沿宽度方向的性能及晶粒均匀性即完成靶材的制备。
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