[发明专利]一种基于串联放大机构的超大角行程倾斜镜

摘要

本发明公开了一种基于串联放大机构的超大角行程倾斜镜，该倾斜镜由反射镜面，镜座，连接器，串联放大机构驱动单元和底座组成。串联放大机构驱动单元可将压电陶瓷驱动器或磁致伸缩材料驱动器的位移放大数十倍以上。多路控制信号可同步或分别驱动驱动器，控制反射镜面使输出光束按照目标方向偏转，这种倾斜镜可实现高精度、大角行程(＞1°)的光束偏转。

主权项

1.一种基于串联压电陶瓷的超大角行程倾斜镜，其特征在于：该倾斜镜由反射镜面(1)，镜座(2)，柔性头(3)，串联放大机构驱动单元(4)和基底(5)组成；该倾斜镜的组装方式是：反射镜面(1)与镜座(2)胶接，镜座(2)与4个柔性头(3)一端螺钉连接；每个柔性头(3)的另一端与每个串联放大机构驱动单元(4)螺钉连接，每个串联放大机构驱动单元(4)的另一端与底座螺钉连接；其中4个串联放大机构驱动单元(4)与对称正交固定在基底(5)上，该倾斜镜的工作原理是控制信号分别驱动每个串联放大机构驱动单元(4)内的高速驱动器(401)，高速驱动器(401)位移经串联位移放大机构放大后产生直线位移，通过柔性头(3)将直线位移转换为偏转运动，最终使反射镜面(1)发生倾斜运动，从而达到控制入射光束偏摆方向的目的。