[发明专利]一种新型太赫兹温控可调多频超材料吸波器在审
| 申请号： | 201910739280.0 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110446415A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 屈增;段俊萍;张斌珍;徐永庆 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及新型太赫兹温控可调多频超材料吸波器设计及制备，设计思路包括以下步骤：根据当前温控材料的发展现状，选择InSb作为超材料吸波器介质基板，并根据Drude模型对其相对介电常数进行近似计算并提取；基于传统的“三明治”吸波结构设计原理，利用时域有限差分法进行建模仿真，设计出一种极化不敏感的四角L型和中间内嵌锯齿型结构组合而成的超材料金属单元，最后进行磁控溅射工艺和金属剥离工艺进行样品制备。在本发明中多频温控超材料单元设计及工艺制备是核心技术，与传统吸波材料相比吸波频段更多、灵活性更好、制作精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 超材料 吸波 多频 温控 可调 三明治 传统吸波材料 磁控溅射工艺 相对介电常数 超材料单元 极化不敏感 锯齿型结构 工艺制备 核心技术 建模仿真 介质基板 金属剥离 金属单元 近似计算 温控材料 吸波结构 样品制备 差分法 传统的 频段 内嵌 时域 制备 制作 | ||
【主权项】：
1.一种新型太赫兹温控可调多频超材料吸波器，其特征在于采用“三明治”吸波结构，中间的介质层（2）选用温控可调的InSb材料，在InSb介质层两侧使用溅射工艺，背面全附金属，正面采用金属剥离工艺制备单元阵列。
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