[发明专利]碳化硼烧结体及包含该碳化硼烧结体的蚀刻装置在审
| 申请号： | 201910739351.7 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110818422A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 黄成植;李在钒;吴浚禄;闵庚烈;金京仁;姜仲根 | 申请（专利权）人： | SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/563 | 分类号： | C04B35/563;C04B35/64;C04B35/622 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 金相允;魏彦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的碳化硼烧结体的特征在于，通过颈缩含碳化硼的颗粒而成，在400℃下测量的导热率值为27W/(m·k)以下。所述碳化硼烧结体具有特定范围内的导热率值，并且具有优秀的耐腐蚀性和耐蚀刻性。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化 烧结 包含 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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